Dönel Kaplama Cihazları

Spin Coaters and Spin Processors Systems

 

Kendisini tamamıyla müşteri memnuniyetine adamış olan Laurell Technologies Corporation pratik ve ekonomik yüzey kaplama ve yüzey işlem üniteleri üreten bir teknoloji firmasıdır. 1985 yılında bir müşterinin GaAs wafer yüzeyini temizlemek üzere ortaya çıkan fikriyle sektöre giriş yapan Laurell Sistemleri bu mütevazi başlangıçtan sonra günümüzde 10.000 'den fazla cihazın kurulumunu yapmış ve herbirine başarıyla satış sonrası destek sunan, Dünya çapında itibarlı bir marka haline gelmiştir.

Laurell_EDC-650HZ-15NPPLaurell, kapalı ve kontrollü malzeme geliştirme süreçlerinde kullanıcılarına kolaylıklar sağlayan, daha az maliyetle daha fazla işlevsellik sunan ve bu sayede uygulamaya özgü yaklaşımları geliştiren, 3 mm ölçeğinde küçük parçaların yanı sıra büyük çaplı waferları işleyebilen, metal olmayan (metal maruziyetini tamamıyla ortadan kaldıran) benzersiz numune standı (chuck) tasarımları sunan, özellikle HCl, HBr, H2S04, HNO3, ve diğer korozif asitlerle işletebilir proses imkanı sağlayan, programlanmış hız, ivme değişiklikleri ve gaz - solvent temasını olanaklı kılan Dünya'nın önde gelen Spin Coater (Dönel Kaplama) ve Spin Processor (Dönel Yüzey İşlem Üniteleri) üreticisidir.

Yarı iletken, nanoteknoloji ve malzeme bilimi çalışmalarında bilinen veya size özel tüm kaplama veya yüzey işlem uygulamalarınız için bizimle iletişime geçebilirsiniz.

 

WS-650-Mz Spin Coater Sistemleri

Laurell WS-650-23B model spin coater (dönel kaplama) cihazları 100-12.000 rpm hız aralığında homojen ince film kaplamalar yapabilir. Dijital process controller ile çalışan sistemler için, 150 mm, 200 mm ve 300 mm wafer ve kare büyüklüğündeki örnekleri kaplayabilecek seçenekler mevcuttur.

Sistem, Laurell markasına özel geliştirilmiş co-polymer karışımı, kimyasallara dayanıklı malzemeden bir gövdeye sahiptir. Bir karışımdan elde edilmiş olması, saf doğal-polipropilen (NPP Natural PolyPropylene) malzemenin sahip olmadığı bir özellik olan güçlü asit ve bazlara karşı dayanıklılık eklemiştir. Sistemin şeffaf kapak kısmı ECTFE'den (Ethylene ChloroTriFluoroEthylene)  yapılmıştır.

Laurell AdvantageLaurell spin kaplama sistemlerinin hazne dizaynı sıçramayı engelleyecek şekilde oluşturulmuştur.

Manuel ve otomatik dispenser seçenekleri ile Laurell spin processer sistemleri, kaplama, aşındırma, geliştirme, çalkalama, boyama, yıkama gibi uygulamalar için çözüm sunmaktadır.

Laurell dönel kaplayıcı cihazlarının vakum yolu rakiplerine kıyasla 14 kat daha fazla hacimin çekişini sağlayabilir. Bu da Laurelle çok yüksek gözenekli çeneleri (high porosity chucks) geliştirme imkanını sağladı. Bu çeneler ince filmleri ya da kırılgan katmanları geniş bir yüzey alanı üzerinde emniyetli bir şekilde tutar.

Patentli bir labirent conta (seal), motor ve elektronik kısımları kimyasal kontaminasyonundan korur.
Saha testlerinde bu mühür/yalıtım sisteminin mikron-altı seviyede parçacık-geçirmez olduğu ispatlanmıştır.

 

Laurell WS 650 23 NPPWS-650-Hzb Spin Coater Sistemleri

Mz sistemlerin sahip olduğu tüm özelliklere ek olarak  0 - 12.000 rpm hız aralığında çalışan yüksek performanslı motor ünitesine sahip bir spin coater (dönel kaplama) cihazıdır. Sistemin sahip olduğu yüksek ivmelenme değeri

30.000 rpm/sec, özellikle vizkozitesi yüksek malzemelerle kaplama yapmayı olanaklı kılar. Spin kaplama sisteminin kalın ve ağır malzemeleri de kaplayacak özellikteki güçlü motor ünitesi hem saat yönünde, hem de saat yönünün tersi yönde dönebilmekte, tek bir program adımında belirlenen hızda çalkalama (agitation) yapabilmektedir.

 

EDC™ (Etch Develop Clean) spin cooter sistemleri

Laurall EDC 650 SeriesEDC sistemler tamamen uygulama esaslı dizayn edilir bu yüzden standart bir konfigürasyonları yoktur. Kontrol ünitesi, process (işlem) süresince  sistemin sadece çıkış basıncını değil, opsiyonel olarak eklenebilen ısıtma döngüsündeki sıcaklığı, durulama/yıkama sonucu atılan suyun sertliği, pH değişmi gibi parametreleri de ölçebilir. Her bir işlem sonrası hazne yıkama ve kurutma işlemi dahil edilebilir ya da bağımsız bir adım olarak yürütülebilir.

 

Laurell Technologies

30 yılı aşkın deneyimi ve 20.000'e yakın kurulu sistem ile Laurell, dönel kaplama (spin coating) işlemlerinde Dünya lideri konumundadır.  Sürekli gelişmeye ve yeniliğe verdiği önem, yüzlerce müşteri için geliştirilen çözümlere ait başarılı performans kayıtları ve sunduğu ömürboyu ücretsiz uygulama desteğiyle kendisini kanıtlamıştır.

www.laurell.com

Laurell_Technologies_Spin_Coater
Laurell Vakum Chucks
Laurell WS 1000MH MiniStation

TERRALAB© Terralab Laboratuvar Malzemeleri San. ve Tic. A.Ş  · Tic.Sicil: 125710 · Mernis: 0084000614900014
Çetin Emeç Bulvarı 1328. Sokak 14/9  A.Öveçler  06460 Çankaya / Ankara / Türkiye    T: +90 312 472 73 96  |  F: +90 312 472 73 98

ANASAYFA ·  HAKKIMIZDA  ·  İLETİŞİM  ·  TEMSİLCİLİKLER  ·   ETKİNLİKLER  ·  info@terralab.com.tr

sayfa başına git
Terralab Analiz. Araştırma. 20 yıl.

Terralab Laboratuvar Malzemeleri San.Tic. A.Ş