Hiden Analytical HALO Kalıntı Gaz Analizörleri (RGA)
HALO kalıntı gaz analizörleri (RGA), vakum odanızdaki gaz ve buharları kısmi basınç düzeyinde gerçek zamanlı izler. Hava sızıntısını, su buharını, hidrokarbonları ve diğer kirleticileri birbirinden ayırt edebilirsiniz. Elektron çoğaltıcılı algılamayla 2 × 10⁻¹⁴ mbar'a kadar inen kısmi basınçları ölçebilir, oda koşullarındaki değişimi anında görebilirsiniz.
40 yılı aşkın Hiden Analytical kütle spektrometresi deneyimiyle geliştirilen HALO ailesinde genel amaçlı vakum izleme için HALO RGA, UHV ve hızlandırıcı hatları için HAL 201 RC sunulmaktadır.
Ürün Özellikleri
HALO RGA — Vakum Odanızın Parmak İzini Rutin Olarak Kontrol Edin
HALO RGA rutin vakum izleme, oda parmak izi, sızıntı tespiti ve eğilim analizi için tasarlanmıştır. iRGA yazılımı hidrojen, helyum, su, azot, oksijen, argon ve sizin tanımladığınız bir gaz için kısmi basınçları otomatik verir. Odanın durumunu her seferinde aynı yöntemle kontrol edebilir, alarm eşiklerini cihazın dijital I/O çıkışları, Wi-Fi ya da e-posta üzerinden bildirim alacak şekilde kurabilirsiniz.
- 100, 200 ve 300 amu kütle aralığı seçenekleri
- Yalnız Faraday dedektörüyle 1 × 10⁻¹¹ mbar, Faraday + elektron çoğaltıcıyla 2 × 10⁻¹⁴ mbar
- Otomatik DeSat™: baskın bir pik doyuma ulaşsa bile hızlı tarama sürer
- Eğilim, tarama, sızıntı tespiti ve bakım modları; alarm durumuna göre renk değiştiren tablet görünümü
HAL 201 RC — UHV, Hızlandırıcı ve Beamline Uygulamaları
Toplam basıncın 5 × 10⁻¹⁰ mbar'ın altında olduğu ortamlarda RGA'nın kendi gaz salınımı ölçümü bozabilir. HAL 201 RC'nin iyon kaynakları Hiden'in vakumda tavlama işleminden geçirilir ve hidrojen salınımı en aza indirilir. Arka planı düşük tutarak 1 × 10⁻¹⁵ mbar'a kadar kısmi basınç ölçebilirsiniz. Radyasyona dayanıklı RF elektroniği ve uzaktan RF kafası seçenekleri mevcuttur. Sistem, ışık kaynaklarında yaygın kullanılan EPICS kontrol yazılımıyla tam uyumludur.
Ölçüm Altyapısı
Ailenin bütün üyeleri MASsoft Professional ile Windows 10/11 üzerinden USB 2.0, RS232 ya da Ethernet bağlantısıyla kontrol edilir. Harici cihazlardan okunan veriler kütle spektrometresi verisiyle birlikte görüntülenir. Arka plan çıkarma ve otomatik kütle skalası hizalaması rutin ölçümü kolaylaştırır.
Uygulama Alanları
- Vakum teşhisi ve oda parmak izi: pompa performansı, bakeout döngüleri, desorpsiyon ve gaz salınımı
- Sızıntı tespiti: helyum ya da başka bir arama gazıyla
- İnce film ve optik kaplama: proses gazı kirleticilerinin izlenmesi
- Hızlandırıcı, sinkrotron ve beamline: UHV kısmi basınç ölçümü
HALO 201 MBE — MBE Odaları İçin
MBE odalarında film büyütme sırasında arka plan gazlarının, gaz saflığının ve kirleticilerin izlenmesinde kullanılır. Bakır yerine molibden kablolama, kirlenmeye dayanıklı iyon kaynağı muhafazası ve bakeout sırasında çalışmayı sağlayan termal uzatıcı seçeneği bulunmaktadır. Kaynak akısı izleme için XBS ile birlikte kullanılabilir.
HAL 101X RC — Radyasyonlu Ortamlar İçin
Tokamak, sinkrotron ve hızlandırıcı gibi radyasyonlu ortamlarda uzaktan ölçüm için kullanılır. Kontrol elektroniği RGA ölçerinden 140 metreye kadar uzağa yerleştirilebilir. Eşik iyonlaştırma kütle spektrometrisi (TIMS) modu, füzyon yakıtı ve egzoz gazında hidrojen ve helyum izotoplarını gerçek zamanlı nicelleştirir.
HALO 201 MBE ve HAL 101X RC konfigürasyonları ile teknik özellikleri için bizimle iletişime geçin.
Spesifikasyonlar
HALO RGA
| Tip | Kuadrupol RGA |
| Kütle aralığı | 100, 200 ya da 300 amu |
| Dedektör | Faraday ya da Faraday + elektron çoğaltıcı (SEM) |
| Min. tespit edilebilir kısmi basınç | 1 × 10⁻¹¹ mbar (Faraday) · 2 × 10⁻¹⁴ mbar (Faraday + SEM) |
| Yüksek hızlı tarama | Otomatik DeSat™ |
| iRGA yazılımı | H₂, He, H₂O, N₂, O₂, Ar ve özel gaz için otomatik kısmi basınç; eğilim, tarama, sızıntı tespiti ve bakım modları; alarm: dijital I/O çıkışı, Wi-Fi, e-posta |
| Kontrol yazılımı | MASsoft Professional |
HAL 201 RC
| Tip | UHV için kuadrupol RGA |
| Kütle aralığı | 100 amu (HAL 101 RC) · 200 amu (HAL 201 RC) · 300 amu (HAL 301 RC) |
| İyon kaynağı | Vakumda tavlanmış, elektron çarpmalı; çift oksit kaplı iridyum filament |
| Dedektör | Faraday + kanaltron elektron çoğaltıcı |
| Min. tespit edilebilir kısmi basınç | 1 × 10⁻¹⁵ mbar |
| Maks. çalışma basıncı | 1 × 10⁻⁴ mbar |
| Radyasyon ortamı | Radyasyona dayanıklı RF elektroniği; uzaktan RF kafası seçeneği |
| Kontrol | EPICS sürücüleriyle uyumlu |
Spesifikasyonlar önceden bildirilmeksizin değiştirilebilir; projenize uygun konfigürasyon ve güncel değerler için bizimle iletişime geçin.
Temsilcilik
Ürün grubu
