Hiden Analytical HMT Proses Basıncında Kalıntı Gaz Analizörü (RGA)
HMT, 5 × 10⁻³ mbar'a kadar çıkan proses basınçlarında diferansiyel pompalama gerektirmeden doğrudan ölçüm yapabilen çift modlu bir kalıntı gaz analizörüdür (RGA). CVD, PECVD, aşındırma ve PVD proseslerinde proses gazını ve beklenmeyen kirleticileri proses sırasında izleyebilirsiniz.
Proses dışındayken aynı cihaz, geleneksel bir kuadrupol RGA gibi yüksek duyarlıklı RGA modunda çalışır. Böylece proses takibi ve vakum teşhisi tek analizörle yapılır.
Ürün Özellikleri
Proses Basıncında Doğrudan Ölçüm
HMT modunda RGA, 5 × 10⁻³ mbar'a kadar olan basınçlarda çalışır ve 5 × 10⁻⁸ mbar'a inen kısmi basınçları ölçer. Özel olarak tasarlanmış iyon kaynağı ve kuadrupol filtre bu basınçta çalışmayı sağlar; yazılım yüksek basınçta sinyalin doğrusallıktan sapmasını düzeltir. Prosesin doğru koşullarda çalışıp çalışmadığını kontrol edebilir, beklenmeyen kirleticileri proses sırasında tespit edebilirsiniz.
Proses Dışında Yüksek Duyarlıklı RGA
Basınç 10⁻⁴ mbar'ın altına indiğinde RGA moduna geçilir. Çift Faraday ve elektron çoğaltıcı dedektörle 2 × 10⁻¹⁴ mbar'a kadar kısmi basınç ölçülür. Baz basıncı, sızıntı tespitini ve bakeout döngülerini aynı cihazla kontrol edebilirsiniz.
Kararlı ve Tekrarlanabilir Ölçüm
Pik yüksekliği 24 saatte ±%1'den az değişir. 100 amu kütle aralığı proses ve vakum gazlarını kapsar. MASsoft Professional ile RS232, USB ya da Ethernet üzerinden kontrol edilir; eğilim ve analog görünümler aynı anda izlenebilir, gerçek zamanlı arka plan çıkarma ve otomatik kütle skalası hizalaması rutin ölçümü kolaylaştırır.
Uygulama Alanları
- CVD, PECVD, MOCVD ve ALD: proses gazı ve kirletici izleme
- Plazma aşındırma: proses koşullarının kontrolü
- PVD ve ince film optik kaplama: kaplama sırasında gaz bileşimi
- Yakın atmosfer XPS (APXPS): analiz odası gaz bileşimi
- Vakum teşhisi ve sızıntı tespiti: baz basıncı, bakeout ve gaz salınımı
Spesifikasyonlar
| Tip | Çift modlu kuadrupol RGA |
| Kütle aralığı | 100 amu |
| HMT modu | 5 × 10⁻³ mbar'a kadar çalışma, diferansiyel pompalama gerektirmez; min. tespit edilebilir kısmi basınç 5 × 10⁻⁸ mbar |
| RGA modu | 10⁻⁴ mbar altında çalışma; min. tespit edilebilir kısmi basınç 2 × 10⁻¹⁴ mbar |
| Dedektör | Faraday + elektron çoğaltıcı |
| Kararlılık | 24 saatte ±%1'den az pik yüksekliği değişimi |
| Yazılım | MASsoft Professional (RS232, USB, Ethernet) |
Spesifikasyonlar önceden bildirilmeksizin değiştirilebilir; projenize uygun konfigürasyon ve güncel değerler için bizimle iletişime geçin.
Temsilcilik
Ürün grubu
