Hiden Analytical IMP-EPD İyon Demeti Aşındırma Bitiş Noktası Dedektörü
İyon demeti aşındırmasında (IBE) çok katmanlı bir yapının hangi katmanda durdurulduğu, üretilen aygıtın performansını doğrudan belirler. Aşındırma sırasında yüzeyden kopan ikincil iyonlar, demetin o anda hangi katmana ulaştığını gösterir. IMP-EPD bu ikincil iyonları diferansiyel pompalı, sağlamlaştırılmış bir ikincil iyon kütle spektrometresiyle (SIMS) analiz eder. Bitiş noktasını sürece özgü algoritmalarla belirler.
Sistem manyetik ince filmler, yüksek sıcaklık süperiletkenleri ve III-V yarı iletkenler gibi yüksek spesifikasyonlu ince film aygıtlarının üretiminde kullanılmaktadır. Proses odasına flanşla bağlanır; veri sistemi aşındırma cihazıyla entegre çalışır.
Ürün Özellikleri
Çok Katmanlı Yapılarda Aşındırma Bitiş Noktası
Darbe iyon sayımlı dedektör ve enerji analizörlü iyon optiği, katmanlar arasındaki geçişte ikincil iyon sinyalindeki değişimi gerçek zamanlı izler. Sürece özgü algoritmalar bitiş noktasını bu sinyalden hesaplar. Sonuç paralel dijital I/O ya da programlanabilir DDE üzerinden aşındırma cihazına aktarılır. IBM Almaden Araştırma Merkezi'nde iyon demetiyle nano üretim ve Nanyang Teknoloji Üniversitesi'nde spintronik aygıt çalışmaları bu sistemle yürütülmüştür.
Hedef Safsızlıklarının Belirlenmesi
Aşındırılan hedef malzemedeki safsızlıklar ikincil iyon spektrumunda doğrudan görünür. Bu sayede kaplanan ya da aşındırılan malzemenin saflığını proses sırasında kontrol edebilirsiniz.
Üretimde Kalite Kontrol ve İstatistiksel Süreç Kontrolü
Pik yüksekliği 24 saatte ±%0,5'ten az değişir. Bu kararlılık, partiden partiye karşılaştırılabilir veri ve istatistiksel süreç kontrolü (SPC) için bir temel oluşturur.
Kalıntı Gaz Analizi ve Kaçak Tespiti
Entegre iyonlaştırıcı sayesinde aynı cihaz kalıntı gaz analizörü olarak da çalışır. Proses odasının vakum kalitesini ve kaçakları aşındırma adımları arasında izleyebilirsiniz.
EP-Replayer ile Reçete Optimizasyonu
EP-Replayer yazılımı, kaydedilmiş aşındırma verilerini gerçek zamanlı olarak yeniden oynatır. Algoritmik reçete şablonundaki değişkenleri değiştirip bitiş noktasının nasıl hesaplanacağını tek bir aşındırma verisi üzerinden deneyebilirsiniz. Böylece yeni yöntemleri ek wafer harcamadan sınayabilir, hatalı bitiş noktası ve hurdaya çıkan wafer riskini azaltabilirsiniz. Yazılım aşındırma cihazından bağımsız da çalışır, bu yüzden canlı proses kesintiye uğramaz.
Spesifikasyonlar
| Tip | Diferansiyel pompalı, sağlamlaştırılmış SIMS / kütle spektrometresi |
| Dedektör | Yüksek duyarlıklı darbe iyon sayımı |
| Kütle filtresi | Üçlü filtreli kuadrupol, 300 amu standart |
| İyon optiği | Enerji analizörlü, entegre iyonlaştırıcı |
| Montaj | Proses odasına flanşla bağlanan diferansiyel pompalı manifold |
| Koruma | Penning göstergesi ve aşırı basınç kilitleri |
| Kararlılık | 24 saatte ±%0,5'ten az pik yüksekliği değişimi |
| Entegrasyon | Aşındırma cihazıyla veri sistemi entegrasyonu; paralel dijital I/O, komut satırı ya da soket üzerinden programlanabilir DDE |
| Yazılım | MASsoft Professional (RS232, USB, Ethernet) · EP-Replayer (ayrı yazılım) |
Spesifikasyonlar önceden bildirilmeksizin değiştirilebilir; projenize uygun konfigürasyon ve güncel değerler için bizimle iletişime geçin.
Temsilcilik
Ürün grubu
