Linseis TF-LFA L54 İnce Film Isıl İletkenlik Ölçüm Cihazı
Linseis TF-LFA L54, 10 nm ile 20 µm arasındaki ince film ve çok katmanlı yapıların ısıl özelliklerini Frekans Bölgesi Termoreflektans (FDTR) yöntemiyle temassız belirler. Oda sıcaklığından 500 °C'ye kadar, kontrollü atmosferde ve 0,01 ile 2000 W/m·K arasındaki ısıl iletkenliklerde ölçüm alabilirsiniz.
Linseis 1957'den bu yana termal analiz cihazı üretiyor. TF-LFA L54 ile tek ölçümde ısıl iletkenlik, ısıl yayınım, efüzivite, hacimsel ısı kapasitesi ve termal sınır iletkenliğini birlikte elde edebilirsiniz; yoğunluk ya da ısı kapasitesi hakkında varsayım yapmanız gerekmez. Yarı iletken, kaplama, termoelektrik malzeme ve LED gibi ileri ince film teknolojilerinde birkaç nanometrelik katmanları bile karakterize edebilirsiniz.
Ürün Özellikleri
Birkaç Nanometrelik Katmanı Ölçün
FDTR yönteminde modülasyonlu bir pompa lazeri numune yüzeyini periyodik olarak ısıtır; prob lazeri sıcaklık değişiminin yol açtığı çok küçük yansıtma değişimlerini algılar. Isıtma ile yanıt arasındaki faz kayması frekans bölgesinde değerlendirildiği için darbe süresi ve optik hizalama kaynaklı hatalar devre dışı kalır. 10 nm'den 20 µm'ye kadar kalınlıkta film ve çok katmanlı yapıyla çalışabilirsiniz.

Beş Parametre, Tek Ölçüm
Aynı ölçümden ısıl iletkenlik, ısıl yayınım, efüzivite, hacimsel ısı kapasitesi ve katmanlar arasındaki termal sınır iletkenliği çıkar. Çok katmanlı yapılarda arayüzün ısı akışına kattığı direnci ayrı bir deneye gerek kalmadan görebilirsiniz.
Isının Hangi Yöne Aktığını Görün
Anizotropi opsiyonuyla düzlem içi ve düzleme dik ısıl iletkenliği ayrı ayrı ölçebilirsiniz. Batarya ve yarı iletken katmanlarında ısının yüzeye paralel yayılması istenirken, SiO₂ gibi termal bariyer kaplamalarda düzleme dik iletkenliğin düşük olması gerekir; PdSe₂ gibi iki boyutlu malzemelerde iki yön arasındaki fark malzemenin kullanım alanını belirler.
Kaplamanın Her Noktasında Aynı mı?
Opsiyonel haritalama modu numune yüzeyinde birden çok noktayı ya da bir alanı tarar. Homojen olmayan filmleri incelemek ve kaplama tekdüzeliğini doğrulamak için tek tek ölçüm kurmanız gerekmez.
Odaklama ve Hizalamayı Cihaza Bırakın
Modülasyonlu pompa lazeri (405 nm) ile sürekli dalga prob lazeri (532 nm) birlikte çalışır; entegre otomatik odaklama sistemi ölçüm boyunca lazer konumunu sürekli optimize eder. Elle ayar yapmadan, her numunede tekrarlanabilir sonuç alabilirsiniz.
Ölçüm Noktasını Gözünüzle Kontrol Edin
Opsiyonel kamera modülü ölçüm bölgesini canlı gösterir. Lazer noktasını istediğiniz yere tam olarak konumlandırabilir, numune yüzeyini ölçüm devam ederken görsel olarak denetleyebilirsiniz.
Uygulama Alanları
- Yarı iletken ve mikroelektronik: katman ve arayüzlerde ısıl direnç, ısıl yönetim tasarımı.
- Termoelektrik malzemeler: ince film termoelektriklerde yöne bağlı ısıl iletkenlik.
- Kaplama ve termal bariyer katmanları: SiO₂ gibi koruyucu filmlerde düşük düzleme dik iletkenliğin doğrulanması.
- İki boyutlu malzemeler: PdSe₂ ve benzeri kristallerde anizotropi ölçümü.
- LED ve optoelektronik: ısı çıkışının katman bazında izlenmesi.
- Pil ve batarya: elektrot ve ayırıcı katmanlarda ısı yayılımı.
Spesifikasyonlar
| Ölçüm yöntemi | Frekans Bölgesi Termoreflektans (FDTR) — optik, temassız |
| Film kalınlığı | 10 nm – 20 µm |
| Sıcaklık aralığı | Oda sıcaklığı … 500 °C (kontrollü atmosferde) |
| Isıl iletkenlik aralığı | 0,01 – 2000 W/m·K |
| Ölçülen parametreler | Isıl iletkenlik, ısıl yayınım, efüzivite, hacimsel ısı kapasitesi, termal sınır iletkenliği |
| Pompa lazeri | Modülasyonlu, 405 nm |
| Prob lazeri | Sürekli dalga (CW), 532 nm |
| Optik hizalama | Otomatik odaklama — ölçüm boyunca sürekli |
| Anizotropi | Opsiyonel — düzlem içi ve düzleme dik ölçüm |
| Yüzey haritalama | Opsiyonel — çoklu nokta ve alan taraması |
| Kamera | Opsiyonel — ölçüm bölgesinin canlı görüntüsü |
Spesifikasyonlar önceden bildirilmeksizin değiştirilebilir; projenize uygun konfigürasyon ve güncel değerler için bizimle iletişime geçin.













