Nanosurf Alphacen 300 Drive Wafer Metrolojisi Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM)
Alphacen 300 Drive, 300 mm ve 200 mm çaplı waferlarda Ångström seviyesinde yüzey pürüzlülüğü metrolojisi için tasarlanmış, uç tarayıcı mimarisine sahip endüstriyel atomik kuvvet mikroskobudur. WaveMode rezonans dışı görüntüleme ile havada çalışan klasik AFM'e göre 15 kata kadar yüksek satır hızına ulaşır ve 100 µm × 100 µm tarama alanında tekrarlanabilir ölçüm sağlar.
1997'den bu yana taramalı prob mikroskopisi geliştiren İsviçreli Nanosurf'ün yirmi yılı aşkın endüstriyel tabla mühendisliği birikimi üzerine kurulan Alphacen 300 Drive, araştırma sınıfı çözünürlüğü yarı iletken üretiminin verim, otomasyon ve süreç entegrasyonu beklentileriyle buluşturur.
WaveMode ile Ölçüm Süresini Kısaltın, Ucu Koruyun
WaveMode, kantileveri rezonans dışında çalıştıran fototermal bir görüntüleme modudur. Uç-numune etkileşim kuvvetini düşük tuttuğu için ucun keskinliği uzun süre korunur; aynı uçla daha fazla ölçüm alabilir, uç değişimi arasındaki süreyi uzatabilirsiniz.
- WaveMode ile 15 Hz'e kadar satır hızı (havada klasik AFM'de 1 Hz)
- Düşük etkileşim kuvveti ile uç aşınmasının azaltılması
- Ölçümler arası tekrarlanabilirliğin korunması
Uç Tarayıcı Mimarisiyle Tam Wafer Boyunca Düşük Gürültü
Tarayıcı waferı değil ucu hareket ettirdiği için wafer boyutu ve ağırlığı ölçüm gürültüsünü etkilemez. Yirmi yılı aşkın endüstriyel tabla mühendisliğine dayanan ultra kararlı tabla tasarımı, mikron altı mutlak konumlandırma doğruluğuyla wafer üzerindeki aynı noktaya tekrar tekrar dönebilmenizi sağlar.
- 300 mm ve 200 mm wafer desteği
- 300 × 300 mm numune tablası
- Mikron altı mutlak konumlandırma doğruluğu
- 100 µm × 100 µm tarama alanı
Otomatik Hizalama ile Operatör Yükünü Azaltın
Otomatik wafer hizalama ve otomatik kantilever hizalama, kurulum süresini kısaltır ve operatörden operatöre değişkenliği ortadan kaldırır. Üretim ortamında ölçümü başlatan kişi değişse de sonuçların karşılaştırılabilir kalmasını sağlar.
KLARF Tabanlı Otomasyon ve Hat Entegrasyonu
Ölçüm rutinleri KLARF dosyaları üzerinden tanımlanabilir; kusur tarama sistemlerinin ürettiği koordinat listelerini doğrudan AFM ölçüm programına aktarabilirsiniz. Böylece optik kontrolde işaretlenen noktaları elle bulmak yerine otomatik olarak sırayla ölçebilirsiniz.
Wafer Kenarı ve Yan Duvar İncelemesi
Wafer kenarı ve yan duvar incelemesiyle üst yüzeyden tepe noktasına kadar nanometre altı çözünürlükte profil alabilirsiniz. Kenar bölgesindeki pürüzlülük ve geometri sapmaları, klasik üstten görüntüleme yöntemleriyle yakalanamayan verim kayıplarının kaynağı olabilir.
Elektriksel Modlarla Genişleyen Kapsam
C-AFM ve SSRM modlarıyla topografyanın yanında iletkenlik ve yayılma direnci haritalarını da alabilirsiniz. CleanDrive fototermal uyarım teknolojisi, ileri görüntüleme modlarında kararlılık sağlar.
Ailenin Diğer Üyeleri
200 mm wafer hattı için Alphacen 200 Drive konfigürasyonu da mevcuttur: aynı 100 µm × 100 µm × 20 µm tarama hacmi ve doğrudan tahrikli flexure tarayıcı, 200 × 200 mm'lik numune platformu, 2 kg'a kadar numune ağırlığı ve 4, 6 ve 8 inçlik waferlar için vakum chuck ile sunulur. Wafer dışında kalan ağır ve büyük numuneler — kalın cam, optik bileşenler ve 45 kg'a kadar parçalar — için ailenin diğer üyesi Alphacen 300 Flex uygundur. Tümüyle özel geometriler için Industrial Solutions kapsamında çözüm geliştirilir.
Uygulama Alanları
- Yarı iletken metrolojisi: 300 mm ve 200 mm waferlarda Ångström seviyesinde yüzey pürüzlülüğü ölçümü
- Süreç kontrolü: CMP, epitaksi ve ince film süreçlerinin çıktı kalitesinin izlenmesi
- Kusur analizi: Optik kontrolde işaretlenen noktaların KLARF rutiniyle otomatik ölçümü
- Wafer kenarı metrolojisi: Kenar ve yan duvar profillerinin nanometre altı çözünürlükte çıkarılması
- Nano-elektriksel karakterizasyon: C-AFM ve SSRM ile katkı ve iletkenlik dağılımının haritalanması
| Tarama alanı (XYZ) | 100 µm × 100 µm × 20 µm |
| Tabla hareket aralığı (XYZ) | 640 mm × 300 mm × 16 mm |
| Hareket hızı | 100 mm/s |
| Tekrar konumlandırma doğruluğu (çift yönlü) | <500 nm |
| Numune tutucu | 300 mm wafer chuck, entegre kaldırma pimli; 200 mm wafer ile uyumlu |
| Eksen üstü optik | Üst görüş kamerası — kantilever ve numunenin eş zamanlı gözlemi |
| Görüş alanı (üst) | 1100 µm × 850 µm |
| Görüş alanı (ikincil) | 900 µm × 700 µm |
| WaveMode satır hızı | 15 Hz'e kadar (havada klasik AFM: 1 Hz) |
| Ölçüm süresi örneği | 1 µm × 1 µm görüntü: 1 Hz'de 8 dakika, 15 Hz'de 30 saniye |
| Örnek pürüzlülük sonucu | Ortalama RMS 242,1 pm ± 2,43 pm (1 µm × 1 µm, 512 × 512 piksel) |
| Ölçüm modları | WaveMode, CleanDrive fototermal uyarım, C-AFM, SSRM, SMM |
| Otomasyon | Otomatik wafer hizalama, otomatik kantilever hizalama, KLARF tabanlı ölçüm rutinleri |
| Ailenin diğer üyeleri | Alphacen 200 Drive (200 mm wafer) · Alphacen 300 Flex (ağır ve büyük numuneler) |
Kaynak: Alphacen 300 Drive 4-pager (2026-06-19).
Spesifikasyonlar önceden bildirilmeksizin değiştirilebilir; projenize uygun konfigürasyon ve güncel değerler için bizimle iletişime geçin.
Temsilcilik
Ürün grubu
