Nanosurf Alphacen 300 Flex Atomik Kuvvet Mikroskobu (AFM)
Alphacen 300 Flex, 300 mm × 300 mm boyutlara ve 45 kg ağırlığa kadar numuneleri taşıyabilen, uç tarayıcı mimarisine sahip endüstriyel atomik kuvvet mikroskobudur. Flex-Mount tarama kafası, 28 bit CX kontrol ünitesi ve akustik kabin ile 100 µm tarama alanında araştırma sınıfı çözünürlüğü büyük parçalara taşır.
1997'den bu yana taramalı prob mikroskopisi geliştiren İsviçreli Nanosurf'ün endüstriyel tabla mühendisliği birikimi üzerine kurulan Alphacen 300 Flex, klasik AFM sistemlerinin numune boyutu ve ağırlık sınırlarını, üretim ve kalite kontrol laboratuvarlarının gerçek parça ölçüm ihtiyacına karşılık verecek şekilde kaldırır.
Ürün Özellikleri
Numuneyi Kesmeden, Olduğu Gibi Ölçün
Klasik AFM sistemlerinde büyük bir optik bileşenin ya da kalın bir cam levhanın incelenmesi için numunenin kesilmesi gerekir; bu hem parçayı hem de ölçümün temsil gücünü kaybettirir. Alphacen 300 Flex, 300 mm × 300 mm boyuta ve 45 kg ağırlığa kadar numuneleri bütün hâlde kabul eder.
- Numune boyutu: 300 mm × 300 mm × 45 mm'ye kadar
- Numune ağırlığı: 45 kg'a kadar
- Z yaklaşma tablası: 50 mm
- Tarama alanı: 100 µm
Uç Tarayıcı Tasarımı: Ağırlık Görüntü Kalitesini Etkilemez
Tarayıcı numuneyi değil ucu hareket ettirdiğinden, tabladaki yükün tarama dinamiğiyle ilişkisi kalmaz. 45 kg'lık bir parçada da küçük bir numunede de aynı görüntü kalitesini elde edersiniz.
Araştırma Sınıfı Tarama Kafası, Endüstriyel Gövde
Sistem, araştırma sınıfı Flex-Mount tarama kafasını kullanır. Flexure tabanlı uç tarayıcı düzlemsel ve doğrusal tarama sağlar; 28 bit CX kontrol ünitesi tarama sürecini hızlı ve hassas biçimde yönetir.
- Flexure tabanlı uç tarayıcı ile düzlemsel ve doğrusal tarama
- 28 bit CX kontrol ünitesi
- Kendiliğinden hizalanan kantileverler
- Üst ve yan görüş kamerası
Akustik Kabin ile Üretim Ortamında Ölçüm
Akustik kabin, dış gürültüyü ve titreşimi azaltarak sistemi üretim alanına yakın konumlarda da kullanılabilir kılar. Ölçüm için numuneyi izole bir metroloji odasına taşımak zorunda kalmazsınız.
Standart Sistem, Özelleştirilebilir Temel
Alphacen 300 Flex standart bir ürün olarak temin edilir; ancak özel numune tutucular, farklı tabla geometrileri ve otomasyon gereksinimleri için Industrial Solutions kapsamında temel platform olarak da kullanılır.
Özelleştirilebilir Ölçüm Programları
Hazır otomasyon seçeneklerinin ötesinde, kendi ölçüm akışınızı tanımlayan programlar yazabilirsiniz. Tekrar eden kalite kontrol ölçümlerini aynı sırayla, aynı parametrelerle çalıştırarak operatör kaynaklı değişkenliği ortadan kaldırabilirsiniz.
Ailenin Diğer Üyesi
300 mm ve 200 mm wafer metrolojisi, WaveMode ile yüksek satır hızı ve KLARF tabanlı otomasyon gerektiren yarı iletken uygulamaları için ailenin diğer üyesi Alphacen 300 Drive uygundur.
Uygulama Alanları
- Optik bileşen üretimi: Cilalanmış içbükey ve dışbükey camlarda nanometre altı yüzey karakterizasyonu
- Büyük optikler: Kısa dalga boylu uygulamalara yönelik büyük optik yüzeylerin pürüzlülük kontrolü
- Endüstriyel kalite kontrol: Kesilemeyen veya bölünemeyen üretim parçalarının yerinde ölçümü
- Kaplama ve ince film: Büyük yüzeyli kaplamalarda homojenlik ve kusur analizi
- Malzeme ve metalurji: Ağır metal ve seramik numunelerde yüzey topografyası
Spesifikasyonlar
| Maksimum XY tarama alanı | 100 µm 1 |
| Maksimum Z aralığı | 10 µm 1 |
| XY doğrusallık ortalama hatası | <%0,1 |
| XY düzlemselliği (maks. tarama alanında) | tip. <5 nm |
| Z sensörü gürültü seviyesi (RMS) | tip. 150 pm / maks. 200 pm |
| Z ölçüm gürültü seviyesi | tip. 100 pm / maks. 200 pm |
| Z ölçüm gürültü seviyesi 2 | tip. 30 pm / maks. 40 pm |
| DC dedektör gürültüsü | <10 pm RMS (0,1 Hz – 1 kHz) |
| AC dedektör gürültüsü | <60 fm/√Hz, 100 kHz üzerinde |
| Dedektör bant genişliği | DC – 4 MHz |
| Maksimum numune boyutu | 300 mm × 300 mm × 45 mm |
| Maksimum numune ağırlığı | 45 kg |
| Motorize XY hareket aralığı | 300 mm × 300 mm |
| Motorize yaklaşma aralığı | 50 mm |
| Tabla XY çözünürlüğü | <1 µm |
| Tek yönlü tekrar konumlandırma doğruluğu | <2 µm |
| Öteleme mekanizması | Hava yastıklı, sürtünmesiz |
| Üst görüş kamerası | 5 MP, 1,5 mm × 1,1 mm |
| Yan görüş kamerası | 5 MP, 3,2 mm × 3,2 mm — akustik kabin içinde iki adet |
| Akustik izolasyon | ~30 dB, 250 Hz üzerinde |
| Sistem boyutları | 1008 mm × 1887 mm × 1208 mm (800 mm kapıdan geçecek şekilde) |
| Sistem ağırlığı | 833 kg |
| Kontrol ünitesi (CX) | 28 bit X/Y/Z DAC · 12× 28 bit 1 MHz DAC · 4× 16 bit 100 MHz hızlı DAC · 10× 20 bit 1 MHz ADC · 3× 16 bit 100 MHz hızlı ADC · çift kanallı lock-in · Gigabit Ethernet (galvanik izoleli) |
| Numune tutucular | Waferlar için vakum chuck; ağır ve büyük numuneler için düz platform; Nanosurf numune tutucu ailesiyle uyumlu platformlar |
1 Üretim toleransı dahildir. 2 VC-F veya daha iyi titreşim ortamında, 60 dB veya daha iyi akustik gürültü seviyesinde.
Kaynak: Nanosurf Alphacen 300 Flex broşürü.
Spesifikasyonlar önceden bildirilmeksizin değiştirilebilir; projenize uygun konfigürasyon ve güncel değerler için bizimle iletişime geçin.
Temsilcilik
Ürün grubu
Detaylı Bilgi Alın
Nanosurf 25. Yıl Sempozyumu
Nanosurf’un 25. yaşını kutlamak üzere gerçekleştirilen bilimsel sempozyumda AFM dünyasının önde gelenleri Basel’de toplandı. Atomik kuvvet mikroskobunun mucitlerinden Christoph Gerber’in de yer aldığı etkinlikte AFM’nin geçmişi ve geleceği konuşuldu.
#AFM #Nanosurf25Years # ChristophGerber